マイクロ波プラズマCVD(無機材研型)


マイクロ波プラズマCVDとは、マイクロ波で原料ガス(メタンなど)の プラズマを発生させ、基板上にダイヤモンドを堆積させるというもので す。電極(赤色)がついているのは、プラズマ中に電界を印加して、炭素 イオンを基板に入射させて、ダイヤモンドの種を植えるというもので、 「バイアス処理」と呼んでいます。この処理を行うと、ダイヤモンドが 成長しやすくなります。以下の図をクリックしますと各部分の写真が 出ます(ただしクライアントサイドマップ機能つきのブラウザでないと クリックしても何も起こりません)。

[NIRIM Type MPCVD]
[Microwave Power Unit] [Isolator] [Power Monitor] [Power Monitor] [Stab Tuner] [Mass Flow Controler] [Plunger] [DC Power Supply] [Substrate] [Vacuum Pump] [Plasma] [Gas] [Gas]