マイクロ波プラズマCVD(無機材研型)
マイクロ波プラズマCVDとは、マイクロ波で原料ガス(メタンなど)の
プラズマを発生させ、基板上にダイヤモンドを堆積させるというもので
す。電極(赤色)がついているのは、プラズマ中に電界を印加して、炭素
イオンを基板に入射させて、ダイヤモンドの種を植えるというもので、
「バイアス処理」と呼んでいます。この処理を行うと、ダイヤモンドが
成長しやすくなります。以下の図をクリックしますと各部分の写真が
出ます(ただしクライアントサイドマップ機能つきのブラウザでないと
クリックしても何も起こりません)。