マイクロ波プラズマＣＶＤ(無機材研型)

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マイクロ波プラズマＣＶＤとは、マイクロ波で原料ガス(メタンなど)の プラズマを発生させ、基板上にダイヤモンドを堆積させるというもので す。電極(赤色)がついているのは、プラズマ中に電界を印加して、炭素 イオンを基板に入射させて、ダイヤモンドの種を植えるというもので、 「バイアス処理」と呼んでいます。この処理を行うと、ダイヤモンドが 成長しやすくなります。以下の図をクリックしますと各部分の写真が 出ます(ただしクライアントサイドマップ機能つきのブラウザでないと クリックしても何も起こりません)。