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我々の研究室は、半導体の新しいデバイスの可能性を探索し、その
基本となる物理や化学を研究してきた。
木村・一色は主に実験的な手法を用いて、
- 半導体の希土類原子の発光を利用した新しい発光デバイ
スの開発
- 半導体量子細線の作成と光デバイスへの応用
- 光デバイス半導体へのイオン注入とその特性制御
- 半導体集積回路の故障メカニズムとその故障分布モデルの研究
等の研究を推進している。平成9年 2月には、新しく Satellite Venture
Business Laboratory と
いう研究棟が完成し、半導体ナノ構造、IC 試作を開始する。また
木村は科学研究費の助成とともに、KDDの研究所(上福岡
市)、理化学研究所 (和光市)との共同で新しい物質開発
の研究を進めている。
齋藤は、計算機を用いた理論的な手法
を用いて、固体物性の研究を行なう。特に現在は
- カーボンナノチューブの構造・電子状態の計算
- 半導体電子状態を計算する並列処理プログラムの開発
- 超高速 LSI チップの作成
を進めている。齋藤はこの研究をマサチューセッツ工科大学 の
Dresselhaus 教授との共同研究するため、科学研究 費のほか、学
術振興会日米共同研究「新しい炭素化合物 の物性」(研究代表者,
平成6-8年)、及び NEDO 国際共 同研究「ナノメートルサイズの円
筒構造をもつ材料の成 長、創製、評価及び物性の研究」(研究分担
者、平成 7-10年) の助成を受けた。また齋藤は Dresselhaus 教
授との共著で ``Physical Property of Carbon Nanotube'' という
本を Imperial College Press から出版した。また超高速 LSI チッ
プの作製のため、日本 アルテラ社から ユニバーシティプログラム
の援助を受けた。
研究室の設備として、イオン打ち込み装置(平成8年度新規導
入)、真空蒸着装置、アニール装置、フォトルミネッセ
ンス装置、プラズマCVD 装置がある。 ワークステーショ
ンは現在 6 台、X 端末が 15 台、pc 端末が 4 台あり、
その他に Power Mac, Windows 用のパソコン、Lap top
などがある。
rsaito@tube.ee.uec.ac.jp