EB 蒸着装置

一般的な電熱線によっては融かすことの出来ない、融点の高 い物質を蒸着する装置。蒸着源に対し電子線(Electron Beam)を照射 し、局部的に融点以上にして蒸着する。

EB 蒸着装置の概略図