アニール装置

熱処理をするための装置である。円筒形の石英管の中心に置か れた試料に対し、周りのヒーターによって熱を加える。その際石英管 の中にガスを流すことで試料の周りの雰囲気を変えることが出来る。

アニール装置の概略図