PS 中のEr の発光中心サイト

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背景

PS 中へのEr のドープは入れ方が容易であることから 液浸法により行なわれている。しかしこの方法ではEr がどこに入っているのか、さらにどの部分にいるEr が発光しているのかがわかっていない。

目的

Er のドープをイオン注入で行うことによりPS 中のEr の位置を任意に決めることができる。そのようにして作ったPSをエッチングすることによりErが発光しているサイトを特定すること。

Er のPL スペクトル

結論

イオン注入によりPS 中に導入したEr の発光は液浸法とは 明らかに異なる。

液浸法でPS 中に導入したEr の強く、温度消光が小さい発光は、 PS の表面相(化合物や酸化膜など)に関係した発光である可能性が 考えられる。