Si 中に熱拡散したEr の発光スペクトル
背景
  • 過去の実験よりSi 中に熱拡散したErの発光を観測(波長: 1.538μm 、半値幅:0.7nm)
  • Er2O3 の発光を観測(波長:1.551μm)
    • 問題点
  • Er をSi 表面に蒸着する際に、Si 表面にあるSiO2上に蒸着して しまい、その後のアニールでSi 中に熱拡散したものがEr であるか 、SiO2にある酸素と反応したEr であるか不明であった。
  • この実験のエッチング方法(王水:10分、フッ酸: 10分) で は表面にある余分なEr やEr2O3 が除去しきれておらず、 Photoluminescence 測定(PL 測定)で発光を観 測する際にSi 中に熱拡散したEr の発光か、Si 表面にある余分な Er やEr2O3の発光か不明であった。
    • 目的
  • Si 中に熱拡散したErの発光を得る。
  • 過去の実験で得られたスペクトルの解析。
    • 結論
  • Si 中に熱拡散したEr の発光はブロードであり(波長: 1.54μm) アニール雰囲気により発光波長、スペクトル形状が変化する。
  • 1.538μm はSi 表面にあるEr からの 発光、1.551μm と1.550μm はSi 表面にあるEr2O3 からの発光。