C-a は "コントロール" キーを押しながら "a" キーを押すことを意味します. このときに送られる ASCII コードは "a" キーのみを押したときに送られるコードから 96 を引いた値です (一般に "コントロール" キーを押しながらキーを押すと キーのみを押したときに送られるコードから 96 または 64 を引いた値が送られます). "コントロール" キーを押しながらキーを押すことで ASCII コードの 0 から 31 までを送ることができます.
M-a は "メタ" キーを押しながら (または ESC キーを押してから) "a" キーを押すことを意味します. このときに送られる ASCII コードは "a" のみを押したときに送られるコードに 128 を加えた値です.
M-C-a は "コントロール" キーと "メタ" キーの両方を押しながら "a" キーを押すことを意味します. C-M-a は M-C-a と同じ意味です.
C-@ や C-^ は, 普通はシフト・キーを押しながらではなく, 単にコントロール-2 またはコントロール-6 を押すだけで入力できます. C-_ は, シフト・キーを押しながらハイフン (-) キーを押さなくては 入力できないでしょう. C-@ はしばしばコントロール-スペースで入力できます. C-@ は普通 NUL 文字と呼ばれます. すなわち ASCII コードの 0 です. C-_ はしばしばコントロール-7 またはコントロール-/ で入力できます. C-? (すなわち DEL) はシフト-バックスペースまたはコントロール-バックスペース で入力できるかもしれません. コントロール・キーを押しながらキーボードの数字キーを押して何が生成されるか 確かめてみるとよいでしょう.
この件に関してさらにオンラインで読むことができます. "C-h i m emacs RET m characters RET" または "C-h i m emacs RET m keys RET" をタイプしてください.