Experimental Apparatus
ダイヤモンド合成を行う装置および、前処理のための装置があります。

マイクロ波プラズマＣＶＤ
無機材研型: ２台
マイクロ波出力: 最大1200W
ガス: メタン、水素
バイアス重畳可能
ASTeX型: １台
マイクロ波出力: 不明
ガス: メタン、水素
イオンビーム蒸着装置
低エネルギーイオンビーム蒸着装置: １台
エネルギー: 1k-10keV
イオン電流: 不明